مواد مورد استفاده برای پردازندههای حسگر معمولاً عمدتاً از مواد نیمهرسانا-بهویژه سیلیکون-بهدلیل هدایت الکتریکی عالی سیلیکون و هزینههای تولید پایین تشکیل شدهاند. سیلیکون به عنوان ماده اساسی برای اکثر دستگاهها و پردازندههای الکترونیکی، به طور گسترده در ساخت پردازندههای حسگر، بهویژه در تولید مدارهای مجتمع (ICs) و ریزپردازندهها استفاده میشود. سیلیکون نه تنها عملکرد الکتریکی لازم را ارائه میکند، بلکه عملکرد پایدار را در طیف وسیعی از دما حفظ میکند و در نتیجه نیازهای محیطی مختلف را برآورده میکند.
با پیشرفتهای فناوری، برخی از پردازندههای حسگر پیشرفته{0}ممکن است از موادی مانند نیترید گالیم (GaN) و کاربید سیلیکون (SiC) استفاده کنند. GaN و SiC دارای تحرک الکترون برتر و مقاومت در برابر تشعشع هستند، که آنها را قادر میسازد عملکرد برتر در کاربردهای-قدرت و{3} بالا{3}}بالا ارائه دهند. این مواد غالباً در-دستگاههای الکترونیکی با قدرت بالا و پردازندههای حسگر تخصصی استفاده میشوند که به کارایی استثنایی میخواهند-بهویژه در سناریوهایی که نیازمند قابلیتهای-دقت و-سرعت بالا هستند.
پردازندههای حسگر ممکن است از مواد مبتنی بر سرامیک یا فلز{0}} نیز استفاده کنند. این مواد مقاومت بالایی در برابر دماهای بالا، خوردگی و شوک مکانیکی دارند و برای استفاده در پردازندههای حسگر در هوافضا، نظامی و سیستمهای کنترل صنعتی خاص مناسب-میشوند.